万博在线客服Bruker的自动化AFMs为表面粗糙度测量、化学机械平化(CMP)和蚀刻深度测量提供了成熟的工业计量解决方案,适用于当前技术节点和晶圆。
原子力分析是最精确的,非破坏性的方法可用于优化和监控具有挑战性的CMP和蚀刻工艺步骤。直接测量不需要测试结构或模型,并且可以在模具的有效区域中进行性能,以获得对处理变化的最佳敏感性。
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