QUANTAXEBSD
上轴TKD不匹配性能
最佳空间解析
低检测当前需求
1.5
内米
有效空间解析
唯一axisTKD提供最优样本检测几何结果不匹配性能
2
NA
最大探针当前需求
上轴TKD可实现低探电流测量而不影响速度和数据质量
125,000
分页
超快获取FSE、BSE和STEM图像
高对比低噪声成像数秒内由异性ARGUS成像系统
面向非匹配空间解析纳米材料映射
QUANTAXEBSD系统广受欢迎Objectimus2检测器头部是SEM内分析纳米材料的最佳可用解决方案原因如下:
- 提供最优空间分辨率下至1.5nm
- 低探针流操作无损速度和/或数据质量
- TKD唯一使用沉浸镜技术超高解析模式SEMs
- 全自动嵌入Argus公司成像系统
为何我需要OnaxisTKD
感谢Aaron Lindenberg及其斯坦福大学团队允许发布Ge-Sb-Te薄膜样本
- 实现最佳空间分辨率
- 面向相位映射
- 快速映射无损数据质量/完整性
- 获取STEM像图像极优对比度和分辨率超快并完全自动信号优化
- 分析波束敏感材料使用低探针流
